De invloed van statische factoren op IC-verpakkingen
Met de continue en gestage groei van de Chinese nationale economie en de voortdurende innovatie en ontwikkeling van productietechnologie, heeft het productieproces steeds hogere eisen voor de productieomgeving. De processen in de grootschalige en ultra grootschalige Ic-productie stellen hogere eisen aan de productieomgeving, niet alleen om een bepaalde temperatuur, vochtigheid, netheid te behouden, maar ook om voldoende aandacht te besteden aan elektrostatische bescherming.
Zoals we allemaal weten, behoort de verpakkingsindustrie tot het stroomafwaartse productieproces in de hele IC-productie. In dit proces zijn er voor plastic IC's, hybride IC's of monolithische IC's voornamelijk waferverdunning (slijpen), wafer snijden (dobbelen), bovenste kern (kleefvel), druklassen (lijmen), inkapseling (inkapseling), voorharding , galvaniseren, afdrukken, nabehandelen, snijden, buisbelading, testen na het afdichten, etc. Elk proces heeft andere vereisten voor verschillende procesomgevingen.
De invloed van statische factoren op IC-verpakkingen
Ten eerste is de oorzaak van statische elektriciteit overal. Vandaag, met de snelle ontwikkeling van technologie en de hoge graad van automatisering van industriële productie, is de schade van statische elektriciteit aan industriële productie al duidelijk. Het kan verschillende obstakels veroorzaken, de verbetering van het automatiseringsniveau beperken en de productkwaliteit beïnvloeden. Hier, in combinatie met de feitelijke situatie van onze fabriek in het verpakkings- en productieproces van geïntegreerde schakelingen om de reden voor het optreden van statische elektriciteit te verklaren, zijn er hoofdzakelijk de volgende redenen.
1. Materialen met een hoge weerstand worden gebruikt in de constructie- en decoratiematerialen van de productieworkshop. Het IC-productieproces vereist het gebruik van schone workshops of ultra-schone workshops.
Het is vereist dat de deeltjesgrootte van de stofverwijderende deeltjes wordt veranderd van conventioneel 0,3 μm tot 0,1 μm, en de stofdeeltjesdichtheid is ongeveer 353 / m3. Hiertoe worden naast de installatie van verschillende stofzuigapparatuur ook anorganische en organische niet stuivende materialen gebruikt om stofvorming te voorkomen. De elektrische eigenschappen van bouwmaterialen worden echter niet als indicator in aanmerking genomen. Er zijn ook geen bepalingen in de ontwerpspecificaties voor industriële installaties. De materialen voor interieurdecoratie die worden gebruikt in de schone fabriek van de IC-fabriek zijn: polyurethaan elastische vloer, nylon, hard plastic, polyethyleen, plastic behang, hars, hout, wit porselein, email, gips en ga zo maar door. De meeste van de bovengenoemde materialen zijn polymeerverbindingen of isolatoren. De vitrinietweerstand is bijvoorbeeld 1012 tot 1014 Q / cm, en de polyethyleenweerstand is 1013 tot 1015 Q / cm, zodat de elektrische geleidbaarheid relatief slecht is. Om een of andere reden lekt statische elektriciteit er niet gemakkelijk doorheen naar de aarde, waardoor statische elektriciteit wordt geaccumuleerd.
2, het lichaam statisch
De verschillende acties van de operatoren van de schone plant en de bewegingen van de heen en weer, de zool en de grond zijn voortdurend in nauw contact en scheiding, en de verschillende delen van het menselijk lichaam hebben ook activiteiten en wrijving. Of het nu snel of langzaam gaat, het draven zal statische elektriciteit opwekken, wat lopen en opladen wordt genoemd; Statische elektriciteit wordt ook gegenereerd wanneer de werkkleding die door het menselijk lichaam wordt gedragen, wordt gescheiden van het oppervlak van de stoel. Als de statische spanning van het menselijk lichaam niet kan worden verwijderd en de IC-chip wordt aangeraakt, kan het IC onbewust worden afgebroken.
3. Statische elektriciteit veroorzaakt door airconditioning en luchtzuivering
Aangezien de IC-productie-eisen worden uitgevoerd onder omstandigheden van 45-55% RV, is airconditioning vereist en is luchtzuivering vereist. De ontvochtigde lucht wordt via het primaire filter, het mediumefficiëntiefilter, het hoogrenderende filter en het luchtkanaal naar de cleanroom gestuurd. Over het algemeen is de totale windsnelheid van het luchtkanaal 8 ~ 10m / s en is de binnenwand van het luchtkanaal geverfd. Wanneer de droge lucht en het luchtkanaal, de droge lucht en het filter ten opzichte van elkaar bewegen, wordt statische elektriciteit opgewekt. Opgemerkt moet worden dat statische elektriciteit een relatief gevoelige relatie heeft met vochtigheid.
Bovendien zal het transport van halffabrikaten en IC-producten statische elektriciteit genereren tijdens het verpakken en transporteren, wat een van de factoren is van elektrostatische oplading.
Ten tweede is de schade van statische elektriciteit aan IC vrij groot. Over het algemeen heeft statische elektriciteit de kenmerken van een hoog potentieel en een sterk elektrisch veld. Tijdens het proces van elektrostatische elektrificatie-ontlading worden soms tijdelijke hoge stroomontlading en elektromagnetische puls (EMP) gevormd, resulterend in een breed spectrum van elektromagnetische stralingsvelden.
In vergelijking met conventionele elektrische energie is de elektrostatische energie bovendien relatief klein. In het natuurlijke elektrificatie-ontladingsproces is de parameter voor elektrostatische ontlading (ESD) niet te beheersen en is een moeilijk proces dat moeilijk te herhalen is, dus de rol ervan wordt vaak door mensen gebruikt. Verwaarloosd. Vooral op het gebied van micro-elektronica is de schade die het ons veroorzaakt verbazingwekkend. Naar verluidt is het directe economische verlies veroorzaakt door statische elektriciteit zo hoog als enkele honderden miljoenen yuan per jaar. Het elektrostatische gevaar is een belangrijk obstakel geworden voor de ontwikkeling van de micro-elektronica-industrie.
In de fabriek voor de productie van halfgeleiderinrichtingen wordt de opbrengst aan IC's, in het bijzonder zeer grootschalige geïntegreerde schakelingen (VLSI's), aanzienlijk verminderd vanwege de adsorptie van stof op de chips. IC-productieworkshopoperators dragen schone overalls. Als het menselijk lichaam is opgeladen met statische elektriciteit, is het gemakkelijk stof, vuil, enz. Te absorberen. Als deze stof en vuil naar de plaats van gebruik worden gebracht, zal dit de productkwaliteit beïnvloeden, de productprestaties verslechteren en Ic sterk verminderen. Opbrengst. Als de straal van de geadsorbeerde stofdeeltjes groter is dan 100 μm en de lijndikte ongeveer 100 μm is, is het waarschijnlijk dat het product bij verwijdering van de filmdikte 50 μm is.
Ook hier heeft statische schade aan het IC bepaalde kenmerken.
(1) Verheldering Tenzij de elektrostatische ontlading plaatsvindt, kan het menselijk lichaam statische elektriciteit niet rechtstreeks voelen, maar heeft het menselijk lichaam mogelijk geen elektrische schok wanneer het elektrostatisch ontladen is. Dit komt omdat de elektrostatische ontlading die door het menselijk lichaam wordt waargenomen 2 ~ 3kv is, dus de statische elektriciteit is verborgen.
(2) Potentieel Er is geen significante daling in de prestaties van sommige spoelbakken na elektrostatische schade, maar meerdere accumulerende ontladingen kunnen interne verwondingen veroorzaken aan IC-apparaten en vormen een verborgen gevaar. Daarom is de schade van statische elektriciteit aan het IC potentieel.
(3) Onder welke omstandigheden lijden willekeurige IC's aan elektrostatische schade? Het kan worden gezegd dat alle processen worden bedreigd door statische elektriciteit vanaf het moment van het genereren van een IC-chip totdat deze is beschadigd en het genereren van deze statische elektriciteit willekeurig is. De schade is ook willekeurig.
(4) De foutenanalyse van complexe elektrostatische ontladingsschade is tijdrovend, arbeidsintensief en duur vanwege de fijne, fijne en kleine structurele kenmerken van micro-elektronische IC-producten. Hightech is vereist en vaak zijn zeer geavanceerde instrumenten vereist. Toch zijn sommige elektrostatische schadeverschijnselen ook moeilijk te onderscheiden van schade veroorzaakt door andere oorzaken; mensen beschouwen ten onrechte het falen van elektrostatische ontladingsschade als andere storingen, die vaak wordt toegeschreven aan vroeg falen of een onduidelijke situatie voordat de elektrostatische ontladingsschade niet volledig wordt herkend. De mislukking, dus onbewust gemaskeerd de echte oorzaak van mislukking. Daarom is het ingewikkeld om de schade van statische elektriciteit aan IC te analyseren.
Al met al is het noodzakelijk om een ESD-beveiligingssysteem te installeren tijdens de verwerking en verpakking van IC's! De IC-verpakkingsproductielijn heeft strengere eisen aan statische elektriciteit. Om de normale werking van de productielijn te garanderen, de algehele decoratie van de antistatische bouwmaterialen voor de schone fabriek en de hardware maatregelen voor al het personeel dat de schone fabriek binnenkomt en verlaat om te worden uitgerust met antistatische kleding, de verpakkingsbedrijven kunnen gebaseerd zijn op de relevante nationale normen en de feitelijke situatie van de onderneming. Het bedrijf heeft bedrijfsnormen of specifieke vereisten voor antistatische normen vastgesteld om te voldoen aan de normale werking van de IC-verpakkingsproductielijn. Met de uitbreiding van China's IC-verpakkingslijn, de toenemende verpakkingscapaciteit, de toename van verpakkingsvariëteiten en de hogere eisen voor productkwaliteit en -opbrengst, dienovereenkomstig verschillende software- en hardwarevereisten en bewustzijn van statische bescherming voor alle werknemers is versterking nog belangrijker, en het speelt en fungeert als de "belangrijke rol" en "onzichtbare moordenaar" die de kwaliteit van onze producten beïnvloedt. Daarom zal statische beveiliging in de hele IC-industrie nu en in de toekomst een groot probleem vormen.