De schade van statische elektriciteit in een cleanroom
Halfgeleiders, flatpanel displays, opto-elektronica en andere cleanrooms, ondanks veel werk, hebben de elektrostatische problemen in de cleanroom nog steeds invloed op de productveiligheid en productopbrengst, wat de productiekosten en -voordelen beïnvloedt, wat de productkwaliteit en betrouwbaarheid aantast.
1. Elektrostatische kracht Coulomb
Onder invloed van elektrostatische Coulomb-kracht zorgen het geadsorbeerde stof en vuil ervoor dat componenten gaan lekken of een kortsluiting vormen, wat de prestaties nadelig beïnvloedt en de opbrengst en betrouwbaarheid sterk vermindert. Als de deeltjesgrootte van het stof> 100 μm is, is de breedte van de aluminiumdraad ongeveer 100 μm en de dikte van de oxidelaag 50 μm, het product is het meest waarschijnlijk vernietigd. Nu is de draaddiameter fijner, de oxidelaag erg dun en de stofdeeltjes met een kleine deeltjesgrootte beschadigen de componenten. Dit gebeurt meestal in de processen van corrosie reiniging, fotolithografie, puntlassen en verpakking.
2, elektrostatische ontlading ESD
(1) De isolerende oxidefilm van de component is gebroken en de leiding is geblazen of de lijn is geblazen. Als het menselijk lichaam 10KV (100PF) van statische lading draagt, treedt ESD op wanneer het apparaat wordt aangeraakt en kan de pulsontladingsstroom piekt tot 20A (10 ~ 100s) direct worden gevormd naar de aarde, om nog te zwijgen van hoge dichtheid, fijn draaddiameter, dunne SiO2-film. Lsi, Vlsi, is het algemene IC, MOS zal schade lijden.
In het algemeen gesproken is de weerstandsveldveldsterkte van de SiO2-filmisolatiepoort E = (5-10) x 106V / cm. Als de filmdikte van het apparaat SiO2 1000 is, wordt de statische spanning van 50V-100V of meer geraakt wanneer de invoerpin van het apparaat wordt toegepast. Het dragen van, en het lichaam met statische elektriciteit van meer dan 50V, 100V is heel gebruikelijk.
(2) lawaai veroorzaken en elektromagnetische interferentie uitzenden
ESD zorgt ervoor dat EMI een scherpe piek heeft voor en na de elektromagnetische golf, en het signaal is sterk, wat overeenkomt met een paar volt energie in het circuit. De frequentie beslaat een paar MH2 of honderden MH2 van sterke ruis, wat kan leiden tot beschadiging van componenten, apparatuur en sensoren werken niet goed of veroorzaken zelfs dat het apparaat is gecrasht.
De EMI veroorzaakt door ESD veroorzaakt ook een invoer van een foutsignaal of een vergrendelingsverschijnsel. In een schone ruimte wordt de EMIF-kast van de wafer op een stalen trolley geplaatst en wordt de ESD van de wafer via de inductor naar de trolley overgebracht. Het wiel is geïsoleerd en door de diffusie van EMI crasht de waferhandler.
(3) Elektrische schok voor het menselijk lichaam
Wanneer de ESD van het menselijk lichaam of de ESD van het menselijk lichaam groter is dan de elektrische schoklimietstroom van het menselijk lichaam van 5 mA of meer, zullen mensen verschillende verwondingen hebben waardoor de emotionele angst en operationele fouten van het personeel worden veroorzaakt.
Cleanrooms zoals halfgeleiders, flat-panel displays en opto-elektronica hebben veel werk verzet, maar de statische problemen in cleanrooms hebben nog steeds invloed op de productveiligheid en productopbrengst, die de productiekosten en -voordelen beïnvloeden en de kwaliteit en betrouwbaarheid van het product beïnvloeden. Volgens buitenlandse industriële experts is het jaarlijkse verlies aan producten als gevolg van statische elektriciteit in de Verenigde Staten gemiddeld 8-33%. Sommige mensen schatten dat de jaarlijkse schade aan de elektronica-industrie in de Verenigde Staten 10 miljard dollar waard is. In de jaren tachtig analyseerde Japan de afgedankte elektronische producten. Het verlies veroorzaakt door ESD is goed voor 1/3. China's halfgeleiders, flat-panel liquid crystal displays, opto-elektronica, enz. Zijn allemaal laat van start gegaan, maar er zijn ook af en toe elektrostatische gevaren en de opbrengst is laag. Banken, effectenmaatschappijen, vertrouwelijke gegevensbanken, monitoringcentra, energieruimtenruimtes, enz., Als ESD optreedt, is het gemakkelijk om interferentie te veroorzaken en gaan de gegevens verloren, de situatie is nog ernstiger.