ESD-beschermingsvereisten voor cleanrooms
Ongeacht hoe de externe luchtcondities veranderen, de Cleam Room kan de kenmerken van reinheid, temperatuur, vochtigheid en druk behouden zoals oorspronkelijk ingesteld.
De belangrijkste functie van de cleanroom is het regelen van de reinheid, temperatuur en vochtigheid van de atmosfeer waarmee producten (zoals siliciumchips, enz.) in contact komen, zodat de producten in een goed milieuvriendelijke ruimte kunnen worden geproduceerd en vervaardigd. Deze ruimte heet"clean room"".
Volgens internationale normen is het niveau van de cleanroom voornamelijk gebaseerd op het aantal deeltjes per kubieke meter lucht waarvan de diameter groter is dan de classificatienorm.
De cleanroom dient te worden ingericht volgens de volgende eisen:
1. Antistatische vloer: punt-tot-punt weerstand<10e9ω; punt-aarde=""><>
2. Antistatische muurplaat: punt-tot-punt weerstand<10e9ω; punt-aarde=""><>
3. Antistatisch venster: punt-tot-punt weerstand<10e9ω; punt-aarde=""><>
4. Betrouwbaar aardingssysteem: point-to-point weerstand<>
5. Luchtionisatiesysteem: Bepaal het balansspanningsbereik en de uitschakeltijd volgens de procestechnologie. Aanbeveling: balansspanning<>