Reinigingsoplossing voor schone kamers
Cleanrooms kunnen worden beschouwd als ESD-werkplaatsen met hoge kosten en een hoge technische inhoud. Naast enkele professionele reinigingsapparatuur en antistatische apparatuur is er ook een reeks reinigingsprocessen voor cleanrooms.
Algemene reiniging van de cleanroom moet worden uitgevoerd nadat het productieproces is voltooid. Als het nodig is om vóór de productie te reinigen, moet de procesproductie worden gestart nadat de opstarttijd van het zuivering-airconditioningsysteem de zelfreinigende vereisten heeft bereikt. Om kruisbesmetting te voorkomen, moeten de hulpmiddelen voor het reinigen van schone fabrieksfaciliteiten worden afgestemd op de productkenmerken, procesvereisten en reinheidsniveaus van de stofvrije luchtzuiveringswerkplaats.
Gereedschappen voor het reinigen van cleanrooms maken over het algemeen gebruik van gecentraliseerde vaste of draagbare antistatische stofzuigapparatuur om ervoor te zorgen dat deeltjesvervuiling tijdens de reguliere reiniging kan worden verwijderd; het kan ook effectief en tijdig bepaalde deeltjes verwijderen die niet geschikt zijn voor werk buiten de cleanroom. komende vervuiling. Wanneer een gecentraliseerd vast stofzuigsysteem wordt opgezet, moet de afzuigventilator buiten de cleanroom worden geïnstalleerd; de aansluitdozen in de cleanroom moeten goed worden afgedicht wanneer ze niet worden gebruikt om het drukverschil of het luchtstroompatroon in de cleanroom niet in gevaar te brengen. Bij het opzetten van draagbare stofzuigapparatuur moet deze worden uitgerust met een uitlaatfilter waarvan de filtratie-efficiëntie minstens hetzelfde moet zijn als het niveau van de schone omgeving; Er moet ook aandacht worden besteed aan de impact op de luchtstroom in de cleanroom tijdens gebruik.
Als de cleanroom niet aan de bovengenoemde reinigingsomstandigheden voldoet, kan deze ook worden afgeveegd met vezelvrije materialen zoals gemerceriseerde handdoeken, nylondoek, enz., meestal één of meerdere keren per dag. Voor schone ruimtes op hoog niveau moet gefilterd water worden gebruikt voor het afvegen; op plaatsen met speciale eisen kunnen voor het afvegen ook organische oplosmiddelen worden gebruikt die aan de eisen voldoen. Wanneer het productieproces van cleanroomproducten vereist dat er niet kan worden afgeveegd, moet voor het reinigen een stofzuiger worden gebruikt.
Over het algemeen moeten mobiele stofzuigers worden gebruikt voor cleanrooms met kleine oppervlakken, terwijl gecentraliseerde of stofzuigsystemen moeten worden gebruikt voor cleanrooms met grote oppervlakken of hoge niveaus. De opstellingseisen voor een antistatisch vacuümsysteem zijn als volgt:
1. De stofafzuiginrichting moet dicht bij het midden van de lading worden geplaatst en er moet rekening worden gehouden met geluids- en trillingsisolatiemaatregelen.
2. De positie en het aantal zuigmonden in de cleanroom moeten worden bepaald op basis van de actieradius van de slang (doorgaans 6-12m), zodat elk deel van de cleanroom kan worden gereinigd.
3. De stofafscheider moet aan de zuigzijde van de vacuümpomp worden geïnstalleerd. De stofafscheider kan een zakstofafscheider zijn, enz.
4. De buismaterialen van het vacuümsysteem dienen gemaakt te zijn van materialen die slijtvast, luchtdicht zijn en een bepaalde sterkte hebben, zoals naadloze stalen buizen of hardkunststof buizen. De kromtestraal van de pijpelleboog is 4 tot 6 keer de diameter van de pijp, en de T-hoek is doorgaans 30 graden, met een maximum van niet meer dan 45 graden. Horizontale leidingen moeten een bepaalde helling hebben, gericht naar de stijgleiding of stofafscheider.
Schone ruimtes van verschillende niveaus en toepassingen hebben verschillende schoonmaaktijden en schoonmaakmethoden. Om de afzetting van deeltjes in de cleanroom te voorkomen, moet er voor of na werkzaamheden in de cleanroom worden gereinigd.