Analyse van statische elektriciteit in schone kamers
① Een groot aantal diëlektrische decoratieve materialen, vloeren, wanden, deuren, plafonds, partities, werkbankes, stoelen, enz., Deze materialen kunnen gemakkelijk worden opgeladen door wrijving en zijn niet gemakkelijk te lekken en los te laten.
De ESD -plastic vloer in de fotolithografiekamer is 5 0 0V ~ 1000V, de plastic vloer in de diffusieruimte is 500V ~ 1500V, de tegelvloer is ook 500V ~ 1500V, het plastic wallpaper is 700V, het plastic plafond is 0V ~ 1000V en het metaalbewegingsstoeloppervlak is 500V ~ 3000V.
② Wanneer mensen schone kleding, schoenen, wandelen of werken dragen, zullen ze statische elektriciteit genereren wanneer ze tegen verschillende materialen en apparatuur wrijven, en mensen, kleding en schoenen worden opgeladen.
Mensen die ESD-nylon kleding en ESD-plastic rubberen zolen schoenen dragen, lopen langzaam op de schone vloer, en ze dragen 7000V ~ 8000V statische spanning. Wandelen op de vinylvloer kan 1200V (10%~ 20%RV), 250V (65%~ 90%RH) statische spanning dragen, lopen op tapijt kan 35000V (10%~ 20%RV), 1500V (65%~ 90%RV) dragen, en de werkkleding die wordt gedragen door werknemers op de chip -assemblagelijn kan 10 kv bereiken.
③ De luchtconditioneringsluchtstroom gaat door het primaire filter, het mediumfilter en het hoogrendementfilter en de gezuiverde uitlaatluchtstroom is statisch opgeladen. De aluminiumplaatluchttoevoer en retouren zijn ongeveer 500 ~ 1000V.
④ Een groot aantal isolerende apparatuur, apparatuur en gereedschappen zijn ook belangrijke bronnen van statische lading. Productielijn van de wafelmontage: Wafer Loading Box 35KV, Organic Glass Cover 8KV, Quartz -producten 1.5KV, Wafer Tray 6KV, acrylafdekking 20KV, tafelblad 10kV, plastic opbergkast 30kV, glasvezelkristal Laaddoos glijden boven polypropylentafel Tabel draagt 10KV 10KV. Kortom, hoe hoger de netheidseisen van de schone kamer, hoe ernstiger de statische lading zal zijn.