Vereisten voor statische elektriciteit voor cleanrooms
(1) Schone kamer
Halfgeleiders, LCD-schermen met vloeibare kristallen, opto-elektronica en biogeneeskunde vereisen allemaal schone productiewerkplaatsen. Over het algemeen verwijzen cleanrooms naar kamers of beperkte ruimten waar de concentratie van zwevende luchtdeeltjes in de ruimte binnen gespecificeerde limieten wordt geregeld. Hoe kleiner het beperkte aantal deeltjes, hoe hoger de reinheid.
(2) Statische elektriciteit in cleanroom
Vanwege de reinheidseisen van de cleanroom, gebruik binnenshuis
① Een groot aantal decoratieve materialen met een hoog isolatiemedium, vloeren, muren, deuren, plafonds, scheidingswanden, werkbanken, stoelen, enz., Deze materialen kunnen gemakkelijk worden geëlektrificeerd en opgeladen door wrijving, en zijn niet gemakkelijk te lekken en los te laten.
Kunststof vloer 500V~1000V in foto-etsruimte, 500V~1500V in diffusieruimte, 500V~1500V in tegelvloer, 700V voor kunststof behang, OV~1000V voor kunststof plafond, 500V~3000V voor metalen verplaatsbare lederen stoeloppervlak.
②Wanneer mensen schone overalls, schoenen dragen, lopen of werken, zal wrijving met verschillende materialen, apparatuur en apparatuur statische elektriciteit opwekken en mensen, kleding en schoenen worden opgeladen.
Mensen die nylon kleding en plastic schoenen met rubberen zolen dragen, lopen langzaam over de schone vloer, met 7000V ~ 8000V statische spanning op hun lichaam.
1200V (10%~20%RH), 250V (65%~90%RH) kan worden gebruikt om op vinylvloeren te lopen, 35000V (10%~20%RH), 1500V (65%~90) kan worden gebruikt om te lopen op tapijt %RH), de chipassemblagelijn, de werkkleding die mensen dragen, kan 10KV bereiken.
③De luchtstroom van de airconditioner gaat door het primaire effectfilter, het medium effectfilter en het hoogrendementsfilter, en de gezuiverde uitlaatluchtstroom is elektrostatisch geladen.
Luchttoevoer- en retourluchtuitlaten van aluminium platen zijn 500 ~ 1000V.
④ Een groot aantal isolerende apparatuur, apparatuur en gereedschappen zijn ook belangrijke bronnen van elektrostatische lading. Wafer-assemblagelijn: wafellaaddoos 35KV, plexiglas deksel 8KV, kwartsproduct 1.5KV, wafelblad 6KV, acryldeksel 20KV, tafelblad 10KV, plastic opbergkast 30KV, glasvezelkristal laaddoos schuift over het polypropyleen tafelblad met 10KV.
Kortom: hoe hoger de reinheidseisen van de cleanroom, hoe ernstiger de elektrostatische oplading.