Gevaren van statische elektriciteit in schone ruimtes in de micro-elektronica
Toegenomen statische elektriciteit zal de kwaliteit van elektronische producten verminderen, elektromagnetische interferentie zal de werking van automatische apparatuur onderbreken, en elektrostatische adsorptie zal de moeilijkheid van het verzamelen van oppervlaktedeeltjes vergroten, dus het is ook noodzakelijk om de opwekking van statische elektriciteit te beheersen. Omdat elektrostatische ladingen daadwerkelijk verontreinigingen naar product- of gereedschapsoppervlakken lokken, wordt elektrostatische adsorptie steeds meer een aandachtspunt in cleanrooms. Wanneer een wafel van 4-inch bijvoorbeeld wordt opgeladen tot 1 KV, zal de adsorptiekracht voor deeltjes met een diameter van 1 micron 830,000 pond per vierkante inch bereiken. Daarom zal de elektrostatische adsorptie tussen geladen voorwerpen en deeltjes sterker zijn dan de zwaartekracht, aerodynamische krachten en adhesiekrachten.
De belangrijkste uitingen van de gevaren van statische elektriciteit in schone werkplaatsen in de elektronica-industrie zijn onder meer:
1. Absorbeer stof. Als gevolg van elektrostatische adsorptie worden luchtdeeltjes in cleanrooms geadsorbeerd op de oppervlakken van elektronische componenten en wanden, wat de productkwaliteit en netheid beïnvloedt. Statische elektriciteit is ook een nieuwe bron van stof in cleanrooms geworden.
2. Veroorzaak brand en explosies. In cleanrooms in de elektronica-industrie worden grote hoeveelheden brandbare en explosieve gassen, vloeistoffen en organische oplosmiddelen gebruikt. Statische elektriciteit kan de ontstekingsbron worden van deze gassen (vloeistoffen) en oplosmiddelen, waardoor brand of explosies kunnen ontstaan.
3. Corona-ontlading, of vonkontlading, veroorzaakt geluid en interfereert met elektronische apparatuur en elektronische componenten.
4. Genereer een elektrostatisch elektrisch veld, waardoor kortsluiting, vermoeidheid of schade aan elektronische componenten ontstaat.
Om deze reden is de voortdurende verbetering van de technologie in de micro-elektronica-industrie ook een manifestatie van de voortdurende verbetering van antistatische technologie. De inhoud van elektrostatische beveiligingssystemen wordt steeds overvloediger. Naast conventionele personeelsbeschermingssystemen (antistatische kleding, antistatische schoenen, antistatische polsbanden, enz.), naast hardwarebeschermingssystemen zoals uitrusting voor het elimineren van statische elektriciteit, moet er nog meer worden toegevoegd aan de oprichting van software voor elektrostatische beveiligingssystemen.