Methode voor deeltjescontrole
Het deeltjesbeheer in zo'n grote omgeving is een enorme uitdaging en heeft een grote impact op de opbrengst. Daarom is het noodzakelijk om betrouwbare, herhaalbare methoden te produceren voor het analyseren van online productgegevens en het repareren van procesgerelateerde defecten voor grotere, betere en betaalbare LCD's. Dit betekent dat het glas tijdens kritieke processen in het productieproces moet worden geïnspecteerd om ervoor te zorgen dat de deeltjes worden verwijderd voordat de plaat en het LCD-materiaal uiteindelijk aan elkaar worden bevestigd.
Voordat het scherm is voltooid, moeten de pixels worden gecontroleerd, die worden uitgevoerd door de LCD-sensor nadat de stroom is ingeschakeld om te bepalen of de pixels kunnen werken. In de test, als een zwarte vlek veroorzaakt door zichtbare deeltjes onder de microscoop verschijnt, kan deze meestal worden vergast of met een laser worden afgeslagen om het probleem op te lossen. Als de deeltjes zich echter binnenin bevinden, kan het LCD-materiaal niet worden gerepareerd nadat het tussen het glas is geplaatst. Wat u kunt doen is de bron van de vervuiling identificeren zodat deze kan worden gerepareerd voordat deze meer schade aanricht. Gelukkig zijn er maar vier of vijf processen in het productieproces van het display, dus het is gemakkelijk om bronnen van vervuiling te vinden. Dit kan worden veroorzaakt door falen van de procesapparatuur, menselijke fouten of netheid.
Om te bepalen of de procesapparatuur te veel deeltjes afgeeft, gebruikt de procesinspecteur een laserdeeltjesteller, die ook wordt bewaakt met behulp van een normaal luchtbewakingsapparaat, en gebruikt hij een HEPA-filter om lage concentraties moleculaire verontreinigende stoffen in de lucht uit het proces of de apparatuur te verwijderen . In sommige geavanceerde beeldschermfabrikanten hebben procesapparatuur, ovens en stofzuigers allemaal HEPA-filters die worden vervangen zoals gepland, en de hele omgeving heeft ook een laminair luchtstroomregelsysteem. Het luchtdebiet wordt gehandhaafd op 90 FPM (+/- 20 FPM) omdat, als de luchtstroom boven 110 FPM is, turbulentie wordt gecreëerd, waardoor de deeltjes door de kamer dwarrelen. Op het gebied van etsen en segmentatie worden veel grote glasdeeltjes geproduceerd en een stofzuiger met een HEPA-filter wordt gebruikt om het glasoppervlak te reinigen en deeltjes uit de lucht en het oppervlak van het apparaat te verwijderen.
Medewerkers moeten een strikt workwear-verbandsysteem volgen; geen make-up of spuitparfum; alle verbruiksgoederen, inclusief lompen, moppen en filters, moeten worden gesteriliseerd en in dubbele zakken worden verpakt voordat ze naar de fabriek worden gebracht. Cleanroom-kleding wordt eenmaal per week gewassen en deeltesten worden voorafgaand aan gebruik uitgevoerd. Kledingleveranciers worden regelmatig beoordeeld op water-, apparatuur- en preventief onderhoudstechnieken, evenals milieufolies om te garanderen dat ze voldoen aan de normen voor cleanroom. Regelmatig de temperatuur en vochtigheid van de fabriek controleren; regelmatig het volledige systeem reinigen, hygiënische maatregelen nemen en preventief onderhoud plegen; tijdens het reinigingsproces, de procesapparatuur regelmatig boenen om ontbrekende deeltjes te verwijderen; controleren en tijdig vervangen van reinigingsmiddelen en chemische filters.
Het is duidelijk dat, in het vermogen om verontreinigende stoffen te beheersen, de display-industrie nog steeds een decennium lang achterblijft bij de halfgeleiderindustrie en de bestrijding van verontreinigende stoffen een probleem blijft. Om met vervuiling in de procesverwerking om te gaan, is de oplossing om het gevaar zo snel mogelijk weg te nemen en inspectie- en reparatietechnieken te verbeteren. Terwijl fabrikanten van apparaten bereid zijn om de ontwikkeling van productietechnologie te zien, is het aantal display-fabrikanten groot en onafhankelijk, dus de toepassing van geavanceerde processen was moeilijk tot nu toe. Daarom moet op de lange termijn een uniforme norm voor verontreinigingsbeheersing in de display-industrie worden opgesteld. Hoewel bedrijven hun interne activiteiten moeten aanpassen om aan de standaardvereisten te voldoen, kunnen normen uiteindelijk leiden tot een vermindering van apparatuurkosten. Daarom zal de standaard op een dag komen.