Elektrostatische bescherming bij de productie van halfgeleiders
In het halfgeleiderproductieproces is het voorkomen en controleren van statische elektriciteit noodzakelijk. Als de preventie en controle van statische elektriciteit niet wordt uitgevoerd, zullen problemen zoals deeltjesvervuiling, halfgeleiderschade als gevolg van elektrostatische ontlading en gerelateerde uitschakeling van apparatuur optreden. Het statische elektriciteitspreventie- en controleprogramma in het halfgeleiderproductieproces omvat: aarding, statische dissipatieve materialen en luchtionisatieneutralisatieionen. Om te voldoen aan de eisen die door de snelle ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie, statische dissipative materialen en luchtionizers zijn ook voortdurend veranderen.
De noodzaak van statische controle in de halfgeleiderproductie
Op het gebied van halfgeleiderproductie is het onmogelijk om de negatieve effecten van statische elektriciteit volledig te elimineren. Zelfs met statische bescherming is het moeilijk om een hoog niveau van productkwaliteit en opbrengst te handhaven. Echter, als er een gebrek aan statische controle, deeltjesvervuiling, elektrostatische ontlading schade en storing van apparatuur, deze problemen zijn bij de vervaardiging van silicium substraten en fotomaskers, in de clean room voor de halfgeleider, en in de downstream processen met inbegrip van assemblage, verpakking, en uiteindelijke testen en verzending. Het kan op elk moment gebeuren, wat de kwaliteit van halfgeleiderproducten ernstig beïnvloedt.
Halfgeleiderstatische besturingsmethode
In de halfgeleiderproductieomgeving, zowel in de voorste cleanroom als in de achterproef, de montage en de verpakking, moet gebruik worden gemaakt van het aarden van geleiders en statische dissipatieve materialen. Aarding voorkomt dat statische elektriciteit wordt opgewekt op geïsoleerde geleiders en statische dissipatieve materialen. Als deze materialen statische elektriciteit dragen, kunnen ze ook statische elektriciteit wegnemen. Elk geleidend materiaal, inclusief personeel, apparatuur, fabrieksoppervlakken (vloeren, wanden, plafonds en werkoppervlakken) en producten, moet een betrouwbare aarding hebben. Deze grondterminals moeten regelmatig worden gecontroleerd. Sommige niet-afgeronde geleiders zijn meestal statische ontladingsbronnen.
Statische dissipatieve materialen verdrijven statische ladingen met behoud van de eigenschappen van bepaalde isolerende materialen (zoals flexibiliteit en chemische weerstand). Als ze betrouwbaar geaard zijn, behouden ze geen statische lading. In sommige toepassingen (zoals desktopcomputers of testaansluitingen) kunnen deze materialen geleidermaterialen vervangen. In deze toepassingen kunnen ze in contact komen met elektrostatisch geladen producten. De hoge weerstand van statische dissipative materialen (typisch in het bereik van 10^4 tot 10^11 ohm) kan het proces van de ladingsbeweging vertragen om elektrostatische ontladingsschadegebeurtenissen te voorkomen. Statische dissipatieve materialen moeten regelmatig worden geïnspecteerd en getest. Veel van deze materialen zijn niet compatibel met clean rooms, en statische dissipatieve kenmerken zullen veranderen in de tijd, dus ze moeten correct worden geselecteerd bij het gebruik ervan.