Statische sturing voor cleanroom
(1) Basisprincipes van statische controle
1 Bepaal het niveau van de statische regeling
2 Minimaliseer de opwekking van statische elektriciteit
3 Ontluchtings- en neutralisatiemethoden versnellen de dissipatie van statische elektriciteit en voorkomen statische elektriciteitsaccumulatie
4 Bescherm het product tegen ESD-schade
(2) Bepaal het niveau van statische controle
1 Elektrostatische gevoeligheidsclassificatie van componenten, componenten en apparatuur
Niveau 1: gevoelig voor beschadiging door elektrostatische spanning van 0-1999V
Niveau 2: gevoelig voor beschadiging van 2000-3999V elektrostatische spanning
Niveau 3: gevoelig voor beschadiging door 4000-5999V elektrostatische spanning
Als de gevoelige statische spanning hoger is dan 16000V, is het niet nodig om antistatische maatregelen te nemen.
2 Classificatie van werkterrein voor elektrostatische bescherming
Klasse A: elektrostatisch potentiaal naar de aarde laten overschrijden ± 100V
Klasse B: laat de elektrostatische potentiaal op aarde niet meer dan ± 1000V overschrijden
Bij de feitelijke engineering is de elektrostatische potentiaal niet meer dan 100 V, 500 V, 1000 V en andere componenten, componenten en apparatuur die statisch gevoelig zijn voor spanningsniveau 3.
(3) Minimaliseer de opwekking van statische lading
Dit is de eerste stap in het besturen van de driestaps statische elektriciteit. In deze schone werkomgeving zijn de beste maatregelen:
1 Probeer vergelijkbare apparatuur te gebruiken om de elektrostatische lading te verminderen die tijdens het contactwrijvingsscheidingsproces wordt gegenereerd;
2 Probeer apparatuur te gebruiken die statische elektriciteit of statische dissipatieve materialen geleidt om de geaccumuleerde statische lading die wordt gegenereerd door het contactwrijvingsscheidingsproces te verminderen;
3 Probeer het productieproces te verminderen door de contactwrijving te verminderen en statische ladingen te genereren.
(4) Vrijzetting en neutralisatie
Dit is de tweede stap in het besturen van de triode van statische elektriciteit. De meest gebruikelijke maatstaf in de cleanroom van de productie van micro-elektronica is aarding, de ontlading van statische lading door geleidende of dissipatieve materialen en de statische lading in geïoniseerde consumenten.
1 grond
De cleanroom moet zijn voorzien van een onafhankelijk elektrostatisch aardingssysteem, inclusief een geaard metalen gaas-ondersteuningssysteem en een werkstation (podium) grondondersteuningssysteem op de productielijn. Zodat de metalen behuizing van alle apparatuur in de kamer, de metalen beugel van de mobiele apparatuur, de antistatische apparatuur enz. Op een veilige en effectieve manier de statische lading naar de aarde ontlaadt en de elektrificatie van de werknemer geaard is door de polsband, en de antistatische schoenen of de hielriem zijn antistatisch. De grond wordt naar de aarde gelucht. De grond, muur, plafond, scheidingswand, enz. Zijn hard geaard en de apparatuurbehuizing, mobiele apparatuur (auto, stoel, plank enz.), Werkbank, enz. Zijn zacht geaard.
2 ionisatie Xiao elektrisch
Het is onvermijdelijk dat er enkele geïsoleerde geleiders zijn die niet kunnen worden geaard in de componenten, PCB's, productielijnen en werkstations in de cleanroom. Isolerende diëlektrische materialen (zoals de meest gebruikelijke kunststoffen), in sommige omgevingen worden ionisatieconsumenten vaak gebruikt. Plaatselijk dissipatie van de statische lading van deze objecten, en vaker door middel van luchtionisatie om de elektrostatische lading te neutraliseren die wordt gedragen op het isolatiemedium en op de geïsoleerde geleider.
3 geleidende statische en statische dissipatieve materialen
Geleidende materialen en antistatische materialen zijn ook goede materialen voor het ontladen van statische ladingen vanwege hun elektrostatische geleidbaarheid en zijn veiliger dan uitlopen van metalen geleiders. Ze worden vaak gebruikt als vloeren, wanden, werkbanken en omzetcontainers. Antistatische apparatuur zoals een pincet en borstels.
(5) Bescherming tegen ESD, bescherming van producten
Dit is de laatste stap in de drietrapsregeling van statische elektriciteit. In de schone ruimte van de productie van micro-elektronica, om te voorkomen dat er elektrostatisch gevoelige componenten of componenten, PCB's, in het ESD terechtkomen, is een methode het verschaffen van goede aarding voor componenten en componenten. De shunt moet de statische lading die op het product aanwezig is, "dissiperen"; de tweede methode is om de verpakking en het transport van de elektrostatisch gevoelige inrichting af te handelen met geschikte verpakkingsmethoden en materialen. Deze materialen beschermen de lading effectief tegen indringen in het product en verminderen de beweging van het product in de verpakking om een elektrostatische lading te creëren.
Internationaal ontwikkelen halfgeleiders, flat-panel liquid crystal displays, opto-elektronica zich snel en de integratie wordt steeds hoger. 8 "12" chips verschijnen, chipdiameters worden dunner en dunner, en antistatische vereisten worden steeds hoger, zie Tabel 4.
De ESD-vereniging van de Verenigde Staten is begonnen met het herzien van het ANS ESD S20.20-1999 elektrostatisch ontladingscontrolestaal en heeft enkele wijzigingen aangebracht in de SSD-classificatie voor elektrostatische gevoeligheid, zie tabellen 5, 6 en 7.
Dit geeft de componentgebruiker een waarschuwing dat de milieucontrolevereisten vereist kunnen zijn, ongeacht of de persoon of apparatuur wordt vervaardigd. Als de toegestane spanning in het EPA-bereik 25V bereikt, ben ik bang dat onze bestaande antistatische apparatuur, apparatuur, gereedschappen en engineering hard zullen moeten werken.